仪器特点
| | ◆超精密全自动测量，四轴CNC控制； | | | ◆精密花岗岩机台，精度高，稳定性好； | | | ◆三轴THK精密线性滑轨、精密传动系统； | | | ◆Renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好； | | | ◆进口自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量； | | | ◆ 可程控6环8区环形表面光源，LED轮廓光源，同轴光源； | | | ◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头； | | | ◆提供多种行程规格配置，如222、322、432、542等。 | | | |
技术参数
| 型号 | VMU222 | VMU322 | VMU432 | VMU542 | 行程(mm) | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 | 外部尺寸(mm) | 1040×740×1620 | 1040×740×1620 | 1240×800×1620 | 1440×1000×1620 | 重量(kg) | 240 | 250 | 310 | 400 | 承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 | 测量精度 | XY轴* | E2=(2.0+L/300)µm | E2=(2.5+L/300)µm | Z轴** | E1=(5.0+L/200)µm | 速度 | XY轴 | 200mm/S | Z轴 | 100mm/S | 光栅尺 | Renishaw光栅尺 | CCD | 1/2"CCD 黑白/彩色 | 光源 | 轮廓光 | LED冷光源，256级亮度可调 | 表面光 | 6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调 | 同轴光 | LED冷光源，256级亮度可调 | 光学系统*** | 6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326 | 软件 | Vispec测量软件 | 运动控制 | 自主专利的CNC直流伺服系统 | 保修期 | 1年 | 工作环境 | 温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80% | 振动<0.002g，低于15Hz | 电源 | 220V/50Hz/10A |
| * L表示测量长度，以毫米为单位。 ** Z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。 ***放大倍率为近似值，具体值与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关。 |
应用行业 机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器，磁性材料、精密五金、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、计算机（电脑）、液晶电视(LCD)、印刷电路板（线路板、PCB）、汽车、医疗器械、钟表、仪器仪表等。 测量对象 LCD、FPC、PCB、线路板、螺丝、弹簧、钟表、手表、仪表、接插件（连接器、接线端子）、齿轮、凸轮、螺纹、半径样板、螺纹样板、电线电缆、刀具、轴承、五金件、冲压件、筛网、试验筛、水泥筛、网板（钢网、SMT模板）等。 测量元素 长度、宽度、高度、孔距、间距、Pin间距、厚度、圆弧、直径、半径、槽、角度、R角等。 | 
